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東京エレクトロン株式会社

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  2022年 特許取得件数ランキング    第38位 690件 上昇2021年:第45位 515件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7186855 半導体装置の製造方法 2022年12月 9日
特許 7186032 成膜装置及び成膜方法 2022年12月 8日
特許 7186060 検査装置及び検査方法 2022年12月 8日
特許 7186095 基板処理装置、基板処理方法及び記憶媒体 2022年12月 8日
特許 7186096 熱板の冷却方法及び加熱処理装置 2022年12月 8日
特許 7186114 基板処理装置及び基板処理方法 2022年12月 8日
特許 7183635 基板搬送機構、基板処理装置及び基板搬送方法 2022年12月 6日
特許 7184254 プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 2022年12月 6日
特許 7184303 シャワープレート、プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 2022年12月 6日
特許 7182908 有機ELパネル、および有機ELパネルの製造方法 2022年12月 5日
特許 7182916 プラズマ処理装置 2022年12月 5日
特許 7182928 伸縮装置 2022年12月 5日
特許 7182970 埋め込み方法及び処理システム 2022年12月 5日
特許 7182988 原料ガス供給装置、成膜装置及び原料ガス供給方法 2022年12月 5日
特許 7183090 プラズマ処理方法及びプラズマ処理装置 2022年12月 5日

693 件中 46-60 件を表示

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7186855 7186032 7186060 7186095 7186096 7186114 7183635 7184254 7184303 7182908 7182916 7182928 7182970 7182988 7183090

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