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東京エレクトロン株式会社

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  2022年 出願公開件数ランキング    第25位 842件 上昇2021年:第33位 878件)

  2022年 特許取得件数ランキング    第38位 690件 上昇2021年:第45位 515件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7178261 基板液処理装置 2022年11月25日
特許 7178491 処理装置及び処理方法 2022年11月25日
特許 7176284 プローブ装置、プローブの検査方法、及び記憶媒体 2022年11月22日
特許 7176361 基板処理方法及び基板処理装置 2022年11月22日
特許 7175114 載置台及び電極部材 2022年11月18日
特許 7175118 基板処理装置、および基板処理方法 2022年11月18日
特許 7175119 基板処理装置、および基板処理方法 2022年11月18日
特許 7175122 基板処理装置、および基板処理方法 2022年11月18日
特許 7175151 搬送方法 2022年11月18日
特許 7175160 基板処理装置 2022年11月18日
特許 7175162 被処理体のプラズマエッチング方法及びプラズマエッチング装置 2022年11月18日
特許 7175171 プローブカード管理システムおよびプローブカード管理方法 2022年11月18日
特許 7175179 中間接続部材、および検査装置 2022年11月18日
特許 7175180 除去方法及び処理方法 2022年11月18日
特許 7175201 処理装置 2022年11月18日

693 件中 76-90 件を表示

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7178261 7178491 7176284 7176361 7175114 7175118 7175119 7175122 7175151 7175160 7175162 7175171 7175179 7175180 7175201

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