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東京エレクトロン株式会社

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  2022年 出願公開件数ランキング    第25位 842件 上昇2021年:第33位 878件)

  2022年 特許取得件数ランキング    第38位 690件 上昇2021年:第45位 515件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7175209 成膜方法 2022年11月18日
特許 7175210 排気装置、処理システム及び処理方法 2022年11月18日
特許 7175224 基板処理方法及び基板処理装置 2022年11月18日
特許 7175237 酸化物の原子層エッチングの方法 2022年11月18日
特許 7175238 電界センサ、表面波プラズマ源、および表面波プラズマ処理装置 2022年11月18日
特許 7175239 制御方法、プラズマ処理装置、プログラム及び記憶媒体 2022年11月18日
特許 7175310 基板処理装置および基板処理方法 2022年11月18日
特許 7175331 基板処理方法、および基板処理装置 2022年11月18日
特許 7175423 基板処理方法、及び基板処理装置 2022年11月18日
特許 7174180 シリコン含有膜のエッチング方法、コンピュータ記憶媒体、及びシリコン含有膜のエッチング装置 2022年11月17日
特許 7174634 膜をエッチングする方法 2022年11月17日
特許 7174687 プラズマ処理装置及びエッチング方法 2022年11月17日
特許 7170422 処理装置 2022年11月14日
特許 7170438 基板処理装置及び判定方法 2022年11月14日
特許 7170449 載置台機構、処理装置及び載置台機構の動作方法 2022年11月14日

693 件中 91-105 件を表示

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7175209 7175210 7175224 7175237 7175238 7175239 7175310 7175331 7175423 7174180 7174634 7174687 7170422 7170438 7170449

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