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東京エレクトロン株式会社

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  2022年 特許取得件数ランキング    第38位 690件 上昇2021年:第45位 515件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7183126 基板処理装置、情報処理装置及び情報処理方法 2022年12月 5日
特許 7183195 情報処理装置、プログラム、プロセス処理実行装置及び情報処理システム 2022年12月 5日
特許 7183391 接合装置および接合方法 2022年12月 5日
特許 7183423 絶縁膜の形成方法 2022年12月 5日
特許 7182480 加工装置及び加工方法 2022年12月 2日
特許 7182703 接合装置、接合システム及び接合方法 2022年12月 2日
特許 7181734 エッチング方法 2022年12月 1日
特許 7180847 カーボンハードマスク、成膜装置、および成膜方法 2022年11月30日
特許 7178826 処理方法 2022年11月28日
特許 7178918 エッチング方法、プラズマ処理装置、及び処理システム 2022年11月28日
特許 7178935 グラフェン構造体を形成する方法および装置 2022年11月28日
特許 7179083 基板洗浄方法、処理容器洗浄方法、および基板処理装置 2022年11月28日
特許 7179159 状態判定装置、状態判定方法、コンピュータ読み取り可能な記録媒体及びプログラム 2022年11月28日
特許 7178177 基板処理装置 2022年11月25日
特許 7178240 光照射装置 2022年11月25日

693 件中 61-75 件を表示

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7183126 7183195 7183391 7183423 7182480 7182703 7181734 7180847 7178826 7178918 7178935 7179083 7179159 7178177 7178240

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