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■ 2022年 出願公開件数ランキング 第25位 842件
(2021年:第33位 878件)
■ 2022年 特許取得件数ランキング 第38位 690件
(2021年:第45位 515件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 7170494 | 中間接続部材及び検査装置 | 2022年11月14日 | |
特許 7170506 | 基板処理方法及び基板処理装置 | 2022年11月14日 | |
特許 7170598 | 基板処理装置及び基板処理方法 | 2022年11月14日 | |
特許 7170733 | 基板処理方法および基板処理システム | 2022年11月14日 | |
特許 7170748 | 基板処理装置、および基板処理方法 | 2022年11月14日 | |
特許 7170879 | 処理装置及び処理方法 | 2022年11月14日 | |
特許 7170880 | 処理装置及び処理方法 | 2022年11月14日 | |
特許 7169769 | 基板裏面研磨部材のドレッシング装置及びドレッシング方法 | 2022年11月11日 | |
特許 7169777 | 基板液処理装置、基板液処理方法及び記憶媒体 | 2022年11月11日 | |
特許 7169786 | メンテナンス装置 | 2022年11月11日 | |
特許 7169857 | 基板処理装置および基板処理方法 | 2022年11月11日 | |
特許 7169865 | 基板処理装置および基板処理方法 | 2022年11月11日 | |
特許 7169866 | 基板処理方法 | 2022年11月11日 | |
特許 7169885 | 誘導結合プラズマ処理装置 | 2022年11月11日 | |
特許 7169910 | 半導体装置の製造方法 | 2022年11月11日 |
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7170494 7170506 7170598 7170733 7170748 7170879 7170880 7169769 7169777 7169786 7169857 7169865 7169866 7169885 7169910
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9月12日(金) -
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