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■ 2022年 出願公開件数ランキング 第25位 842件
(2021年:第33位 878件)
■ 2022年 特許取得件数ランキング 第38位 690件
(2021年:第45位 515件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 7169920 | 静電吸着装置及び除電方法 | 2022年11月11日 | |
特許 7169931 | 成膜方法、半導体装置の製造方法、成膜装置、および半導体装置を製造するシステム | 2022年11月11日 | |
特許 7170038 | プラズマ処理装置 | 2022年11月11日 | |
特許 7170138 | 塗布方法及び塗布装置 | 2022年11月11日 | |
特許 7166953 | 基板処理装置および基板処理方法 | 2022年11月 8日 | |
特許 7166089 | 基板処理装置、基板処理システムおよび基板処理方法 | 2022年11月 7日 | |
特許 7166147 | プラズマ処理装置 | 2022年11月 7日 | |
特許 7166189 | 画像生成装置、検査装置及び画像生成方法 | 2022年11月 7日 | |
特許 7166427 | 基板処理装置、基板処理方法、及び記憶媒体 | 2022年11月 7日 | |
特許 7164773 | パターンを層に転写する方法 | 2022年11月 2日 | |
特許 7164777 | ウェハ上の欠陥、金属粒子汚染及び膜成長を抑制するシステム及び方法 | 2022年11月 2日 | |
特許 7164289 | 半導体プロセッシング中のオーバレイを制御するための湾曲を制御する応力の位置特定チューニング | 2022年11月 1日 | |
特許 7164487 | 基板処理装置 | 2022年11月 1日 | |
特許 7162837 | プラズマ処理装置、及び、プラズマ処理方法 | 2022年10月31日 | |
特許 7163199 | 基板処理装置 | 2022年10月31日 |
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7169920 7169931 7170038 7170138 7166953 7166089 7166147 7166189 7166427 7164773 7164777 7164289 7164487 7162837 7163199
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9月12日(金) -
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