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東京エレクトロン株式会社

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  2022年 出願公開件数ランキング    第25位 842件 上昇2021年:第33位 878件)

  2022年 特許取得件数ランキング    第38位 690件 上昇2021年:第45位 515件)

(ランキング更新日:2025年9月1日)筆頭出願人である出願のみカウントしています

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7169920 静電吸着装置及び除電方法 2022年11月11日
特許 7169931 成膜方法、半導体装置の製造方法、成膜装置、および半導体装置を製造するシステム 2022年11月11日
特許 7170038 プラズマ処理装置 2022年11月11日
特許 7170138 塗布方法及び塗布装置 2022年11月11日
特許 7166953 基板処理装置および基板処理方法 2022年11月 8日
特許 7166089 基板処理装置、基板処理システムおよび基板処理方法 2022年11月 7日
特許 7166147 プラズマ処理装置 2022年11月 7日
特許 7166189 画像生成装置、検査装置及び画像生成方法 2022年11月 7日
特許 7166427 基板処理装置、基板処理方法、及び記憶媒体 2022年11月 7日
特許 7164773 パターンを層に転写する方法 2022年11月 2日
特許 7164777 ウェハ上の欠陥、金属粒子汚染及び膜成長を抑制するシステム及び方法 2022年11月 2日
特許 7164289 半導体プロセッシング中のオーバレイを制御するための湾曲を制御する応力の位置特定チューニング 2022年11月 1日
特許 7164487 基板処理装置 2022年11月 1日
特許 7162837 プラズマ処理装置、及び、プラズマ処理方法 2022年10月31日
特許 7163199 基板処理装置 2022年10月31日

693 件中 121-135 件を表示

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7169920 7169931 7170038 7170138 7166953 7166089 7166147 7166189 7166427 7164773 7164777 7164289 7164487 7162837 7163199

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