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東京エレクトロン株式会社

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 ■ 2023年 出願公開件数ランキング    第31位 722件 (下降2022年:第25位 842件)

 ■ 2023年 特許取得件数ランキング    第32位 760件 (上昇2022年:第38位 690件)

(ランキング更新日:2026年10月9日)筆頭出願人である出願のみカウントしています

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7402715 ウエハを処理する方法 2023年12月21日
特許 7402698 基板洗浄装置及び基板洗浄方法 2023年12月21日
特許 7402658 基板収容ユニット及び基板搬送装置における真空搬送ユニットのメンテナンス方法 2023年12月21日
特許 7402655 基板処理装置 2023年12月21日
特許 7402401 モノリシック集積型3次元CMOSロジック及びメモリを製造するためのアーキテクチャ設計及びプロセス 2023年12月21日
特許 7402399 統合的な半導体処理モジュールを組み込んだ自己認識及び補正異種プラットフォーム及びその使用方法 2023年12月21日
特許 7402395 コンフォーマル膜の交互積層成長のための方法 2023年12月21日
特許 7401266 基板載置台、及び、基板処理装置 2023年12月19日
特許 7401284 基板処理装置 2023年12月19日
特許 7401313 処理方法及びプラズマ処理装置 2023年12月19日
特許 7398969 基板処理方法、基板処理装置および記憶媒体 2023年12月15日
特許 7398909 静電吸着方法及びプラズマ処理装置 2023年12月15日
特許 7398935 載置台、及び、検査装置 2023年12月15日
特許 7398930 検査装置システム 2023年12月15日
特許 7398915 基板処理方法、半導体デバイスの製造方法、及び、プラズマ処理装置 2023年12月15日

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7402715 7402698 7402658 7402655 7402401 7402399 7402395 7401266 7401284 7401313 7398969 7398909 7398935 7398930 7398915

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