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■ 2023年 出願公開件数ランキング 第31位 722件 (2022年:第25位 842件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 7383111 | リン酸処理液の再生装置、基板処理装置、リン酸処理液の再生方法、及び基板処理方法 | 2023年11月17日 | |
特許 7383118 | 研削装置 | 2023年11月17日 | |
特許 7383133 | 接合システム | 2023年11月17日 | |
特許 7382164 | 液処理装置および液処理方法 | 2023年11月16日 | |
特許 7379993 | エッチング装置及びエッチング方法 | 2023年11月15日 | |
特許 7379042 | 真空搬送装置および真空搬送装置の制御方法 | 2023年11月14日 | |
特許 7379104 | 基板検査装置、基板処理装置、基板検査方法、及びコンピュータ読み取り可能な記録媒体 | 2023年11月14日 | |
特許 7378276 | プラズマ処理装置 | 2023年11月13日 | |
特許 7378317 | プラズマ処理装置 | 2023年11月13日 | |
特許 7378318 | 部品交換方法 | 2023年11月13日 | |
特許 7378345 | 二重配管の内部洗浄方法及び処理液供給装置 | 2023年11月13日 | |
特許 7378357 | 基板処理装置およびガス供給配管のパージ方法 | 2023年11月13日 | |
特許 7378442 | 温度制御装置、温度制御方法、および載置台 | 2023年11月13日 | |
特許 7378578 | 基板処理装置および基板処理方法 | 2023年11月13日 | |
特許 7378668 | 静電チャックおよび基板処理装置 | 2023年11月13日 |
764 件中 91-105 件を表示
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7383111 7383118 7383133 7382164 7379993 7379042 7379104 7378276 7378317 7378318 7378345 7378357 7378442 7378578 7378668
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