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東京エレクトロン株式会社

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  2023年 特許取得件数ランキング    第32位 762件 上昇2022年:第38位 690件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7383111 リン酸処理液の再生装置、基板処理装置、リン酸処理液の再生方法、及び基板処理方法 2023年11月17日
特許 7383118 研削装置 2023年11月17日
特許 7383133 接合システム 2023年11月17日
特許 7382164 液処理装置および液処理方法 2023年11月16日
特許 7379993 エッチング装置及びエッチング方法 2023年11月15日
特許 7379042 真空搬送装置および真空搬送装置の制御方法 2023年11月14日
特許 7379104 基板検査装置、基板処理装置、基板検査方法、及びコンピュータ読み取り可能な記録媒体 2023年11月14日
特許 7378276 プラズマ処理装置 2023年11月13日
特許 7378317 プラズマ処理装置 2023年11月13日
特許 7378318 部品交換方法 2023年11月13日
特許 7378345 二重配管の内部洗浄方法及び処理液供給装置 2023年11月13日
特許 7378357 基板処理装置およびガス供給配管のパージ方法 2023年11月13日
特許 7378442 温度制御装置、温度制御方法、および載置台 2023年11月13日
特許 7378578 基板処理装置および基板処理方法 2023年11月13日
特許 7378668 静電チャックおよび基板処理装置 2023年11月13日

764 件中 91-105 件を表示

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7383111 7383118 7383133 7382164 7379993 7379042 7379104 7378276 7378317 7378318 7378345 7378357 7378442 7378578 7378668

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