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■ 2023年 特許取得件数ランキング 第32位 762件 (2022年:第38位 690件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 7393525 | 異物検出装置、基板処理装置、及び異物検出装置の動作確認方法 | 2023年12月 6日 | |
特許 7390794 | 基板処理装置及び接合方法 | 2023年12月 4日 | |
特許 7390837 | 基板処理方法および基板処理装置 | 2023年12月 4日 | |
特許 7390880 | エッジリング及び基板処理装置 | 2023年12月 4日 | |
特許 7390922 | カソードユニットおよび成膜装置 | 2023年12月 4日 | |
特許 7390934 | 検査装置 | 2023年12月 4日 | |
特許 7390990 | 表示方法及び基板処理装置 | 2023年12月 4日 | |
特許 7391126 | 加工装置、加工方法及びコンピュータ記憶媒体 | 2023年12月 4日 | |
特許 7391160 | 粉末供給装置、溶射装置、粉末供給方法及び溶射方法 | 2023年12月 4日 | |
特許 7391283 | 基板保持方法及び基板処理装置 | 2023年12月 4日 | |
特許 7390134 | エッチング処理方法およびエッチング処理装置 | 2023年12月 1日 | |
特許 7390165 | 基板処理方法および基板処理装置 | 2023年12月 1日 | |
特許 7390194 | エアギャップ形成方法 | 2023年12月 1日 | |
特許 7390195 | シリコン成膜方法 | 2023年12月 1日 | |
特許 7390199 | エッチング方法、基板処理装置、及び基板処理システム | 2023年12月 1日 |
764 件中 61-75 件を表示
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