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東京エレクトロン株式会社

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  2023年 特許取得件数ランキング    第32位 762件 上昇2022年:第38位 690件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7393525 異物検出装置、基板処理装置、及び異物検出装置の動作確認方法 2023年12月 6日
特許 7390794 基板処理装置及び接合方法 2023年12月 4日
特許 7390837 基板処理方法および基板処理装置 2023年12月 4日
特許 7390880 エッジリング及び基板処理装置 2023年12月 4日
特許 7390922 カソードユニットおよび成膜装置 2023年12月 4日
特許 7390934 検査装置 2023年12月 4日
特許 7390990 表示方法及び基板処理装置 2023年12月 4日
特許 7391126 加工装置、加工方法及びコンピュータ記憶媒体 2023年12月 4日
特許 7391160 粉末供給装置、溶射装置、粉末供給方法及び溶射方法 2023年12月 4日
特許 7391283 基板保持方法及び基板処理装置 2023年12月 4日
特許 7390134 エッチング処理方法およびエッチング処理装置 2023年12月 1日
特許 7390165 基板処理方法および基板処理装置 2023年12月 1日
特許 7390194 エアギャップ形成方法 2023年12月 1日
特許 7390195 シリコン成膜方法 2023年12月 1日
特許 7390199 エッチング方法、基板処理装置、及び基板処理システム 2023年12月 1日

764 件中 61-75 件を表示

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7393525 7390794 7390837 7390880 7390922 7390934 7390990 7391126 7391160 7391283 7390134 7390165 7390194 7390195 7390199

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