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東京エレクトロン株式会社

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  2023年 特許取得件数ランキング    第32位 762件 上昇2022年:第38位 690件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7398969 基板処理方法、基板処理装置および記憶媒体 2023年12月15日
特許 7398988 スパッタ装置 2023年12月15日
特許 7399012 基板処理システム、基板処理方法、および制御装置 2023年12月15日
特許 7399014 清掃装置及び半導体製造システム 2023年12月15日
特許 7399035 ティーチング方法、搬送システム及びプログラム 2023年12月15日
特許 7399258 めっき処理装置 2023年12月15日
特許 7398242 基板処理方法及び基板処理システム 2023年12月14日
特許 7398306 ガス検査方法、基板処理方法及び基板処理システム 2023年12月14日
特許 7398554 基板処理装置及び基板処理方法 2023年12月14日
特許 7397247 プラズマ処理のための制御のシステム及び方法 2023年12月13日
特許 7396370 直動機構及びパーティクルの飛散抑制方法 2023年12月12日
特許 7395094 プラットフォーム、及び統合的エンドツーエンド自己整合マルチパターニングプロセスの操作方法 2023年12月11日
特許 7395099 垂直入射現場プロセス監視センサ 2023年12月11日
特許 7395645 プラズマ処理装置 2023年12月11日
特許 7394554 基板処理システム 2023年12月 8日

764 件中 31-45 件を表示

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7398969 7398988 7399012 7399014 7399035 7399258 7398242 7398306 7398554 7397247 7396370 7395094 7395099 7395645 7394554

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