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東京エレクトロン株式会社
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東京エレクトロン株式会社の商標一覧| 公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特許 7394556 | 載置台及び基板処理装置 | 2023年12月 8日 | |
| 特許 7394563 | 基板処理装置の洗浄方法及び基板処理システム | 2023年12月 8日 | |
| 特許 7394601 | プラズマ処理装置及び測定方法 | 2023年12月 8日 | |
| 特許 7394632 | アレーアンテナ及びプラズマ処理装置 | 2023年12月 8日 | |
| 特許 7394638 | 研削装置、及び研削方法 | 2023年12月 8日 | |
| 特許 7394661 | 基板処理装置 | 2023年12月 8日 | |
| 特許 7394665 | 基板処理方法及び基板処理装置 | 2023年12月 8日 | |
| 特許 7394668 | 温度制御方法およびプラズマ処理装置 | 2023年12月 8日 | |
| 特許 7394676 | 基板処理方法及び基板処理装置 | 2023年12月 8日 | |
| 特許 7394694 | プラズマ処理装置 | 2023年12月 8日 | |
| 特許 7394711 | 測定器及びシースの厚さを求める方法 | 2023年12月 8日 | |
| 特許 7394869 | エッチング方法およびエッチング装置 | 2023年12月 8日 | |
| 特許 7393986 | 載置台及び検査装置 | 2023年12月 7日 | |
| 特許 7392740 | 塗布膜形成装置、及び塗布膜形成方法 | 2023年12月 6日 | |
| 特許 7393143 | 液処理装置および流量検出部の校正方法 | 2023年12月 6日 |
764 件中 46-60 件を表示
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7394556 7394563 7394601 7394632 7394638 7394661 7394665 7394668 7394676 7394694 7394711 7394869 7393986 7392740 7393143
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