東京エレクトロン株式会社

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　■　2024年出願公開件数ランキング　　　第27位　725件（2023年：第31位　722件）

　■　2024年特許取得件数ランキング　　　第25位　802件（2023年：第32位　762件）

（ランキング更新日：2025年4月15日）筆頭出願人である出願のみカウントしています

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特許 7599872	エッチング方法及びプラズマ処理装置	2024年12月16日
特許 7599917	基板処理装置および基板処理方法	2024年12月16日
特許 7600018	基板処理装置及び基板処理方法	2024年12月16日
特許 7600295	基板処理方法及び基板処理システム	2024年12月16日
特許 7599107	ＲＦ電圧及び電流（Ｖ－Ｉ）センサ並びに測定方法	2024年12月13日
特許 7599273	基板処理システムおよび載置台の温度制御方法	2024年12月13日
特許 7599295	原料ガス供給システム及び原料ガス供給方法	2024年12月13日
特許 7599309	基板処理システムおよび基板処理方法	2024年12月13日
特許 7599562	基板処理方法及び基板処理システム	2024年12月13日
特許 7599020	基板処理方法及び基板処理システム	2024年12月12日
特許 7598240	基板乾燥方法および基板乾燥装置	2024年12月11日
特許 7596670	基板を処理する装置、及び基板を処理する方法	2024年12月10日
特許 7597459	原料供給装置及び原料供給方法	2024年12月10日
特許 7597462	基板保持機構及び基板載置方法	2024年12月10日
特許 7597463	プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法	2024年12月10日

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7599872 7599917 7600018 7600295 7599107 7599273 7599295 7599309 7599562 7599020 7598240 7596670 7597459 7597462 7597463

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