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東京エレクトロン株式会社

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  2025年 特許取得件数ランキング    第23位 821件 上昇2024年:第25位 802件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7771632 基板の搬送を行う装置、及び基板を搬送する方法 2025年11月18日
特許 7771651 基板搬送装置及び基板搬送方法 2025年11月18日
特許 7771835 基板処理方法及び基板処理装置 2025年11月18日
特許 7772325 プラズマ処理装置及び共振周波数測定方法 2025年11月18日
特許 7772485 プラズマ処理装置 2025年11月18日
特許 7772861 処理装置および処理システム 2025年11月18日
特許 7770107 基板処理装置および基板処理方法 2025年11月14日
特許 7770157 被処理体の搬送方法および処理装置 2025年11月14日
特許 7770495 接合装置 2025年11月14日
特許 7770557 基板処理装置、および基板処理方法 2025年11月14日
特許 7770611 壁部材およびプラズマ処理装置 2025年11月14日
特許 7769538 基板支持台及びリングの交換方法 2025年11月13日
特許 7769735 異物検出装置、基板処理装置、異物検出方法、及び記憶媒体 2025年11月13日
特許 7768645 成膜装置、および成膜装置のクリーニング方法 2025年11月12日
特許 7768646 基板処理方法、および基板処理装置 2025年11月12日

830 件中 76-90 件を表示

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7771632 7771651 7771835 7772325 7772485 7772861 7770107 7770157 7770495 7770557 7770611 7769538 7769735 7768645 7768646

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