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東京エレクトロン株式会社

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  2025年 特許取得件数ランキング    第23位 821件 上昇2024年:第25位 802件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7761537 プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 2025年10月28日
特許 7760389 プラズマ処理装置 2025年10月27日
特許 7760397 基板処理装置 2025年10月27日
特許 7760485 プラズマ処理装置及び静電チャックの製造方法 2025年10月27日
特許 7760689 基板処理装置及び基板処理方法 2025年10月27日
特許 7759543 高K金属ゲート(HKMG)膜スタックの選択的成膜を介した閾値電圧の調整方法 2025年10月24日
特許 7758441 成膜方法および成膜装置 2025年10月22日
特許 7758443 基板処理装置、および動作状態監視方法 2025年10月22日
特許 7758445 基板処理装置 2025年10月22日
特許 7758446 基板処理装置、および基板処理方法 2025年10月22日
特許 7758447 成膜装置 2025年10月22日
特許 7758448 異常放電判定方法、異常放電判定システム及び基板処理装置 2025年10月22日
特許 7758449 基板処理システム、制御装置および基板搬送処理方法 2025年10月22日
特許 7756520 成膜方法、半導体装置の製造方法、および成膜装置 2025年10月20日
特許 7756761 基板処理システム 2025年10月20日

830 件中 121-135 件を表示

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7761537 7760389 7760397 7760485 7760689 7759543 7758441 7758443 7758445 7758446 7758447 7758448 7758449 7756520 7756761

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