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東京エレクトロン株式会社

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  2025年 出願公開件数ランキング    第35位 629件 下降2024年:第27位 725件)

  2025年 特許取得件数ランキング    第23位 821件 上昇2024年:第25位 802件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7768647 予測装置、検査システム、予測方法及び予測プログラム 2025年11月12日
特許 7768648 検査装置、および検査方法 2025年11月12日
特許 7768649 成膜方法及び処理装置 2025年11月12日
特許 7768651 基板処理装置 2025年11月12日
特許 7768652 基板処理方法及び基板処理装置 2025年11月12日
特許 7768656 温度センサ及びプラズマ処理装置 2025年11月12日
特許 7768914 プラズマ処理装置、静電チャック及びプラズマ処理方法 2025年11月12日
特許 7767024 基板処理方法および基板処理装置 2025年11月11日
特許 7767472 液処理方法、吐出調整方法及び液処理装置 2025年11月11日
特許 7766480 剥離システムおよび剥離方法 2025年11月10日
特許 7766526 基板処理装置および基板処理方法 2025年11月10日
特許 7766561 成膜位置ズレ補正方法および成膜システム 2025年11月10日
特許 7766699 レジストパターンを形成する方法、半導体装置を製造する方法、基板処理装置、及び記憶媒体 2025年11月10日
特許 7766720 基板処理方法および基板処理装置 2025年11月10日
特許 7766765 プラズマ処理装置 2025年11月10日

830 件中 91-105 件を表示

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7768647 7768648 7768649 7768651 7768652 7768656 7768914 7767024 7767472 7766480 7766526 7766561 7766699 7766720 7766765

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