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東京エレクトロン株式会社

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  2025年 特許取得件数ランキング    第23位 821件 上昇2024年:第25位 802件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7765772 プラズマ処理装置及び基板支持器 2025年11月 7日
特許 7765154 基板処理方法、基板処理装置および接合システム 2025年11月 6日
特許 7765155 接合装置、及び接合方法 2025年11月 6日
特許 7765158 レーザー加工装置、及びレーザー加工方法 2025年11月 6日
特許 7763669 基板処理装置および基板処理方法 2025年11月 4日
特許 7763711 基板処理装置および基板処理方法 2025年11月 4日
特許 7763025 プラズマ処理装置 2025年10月31日
特許 7763106 基板検査装置、基板検査方法、及び、基板検査プログラム 2025年10月31日
特許 7763181 無機レジストパターニング用のプロセス環境 2025年10月31日
特許 7763251 エッチング方法、半導体装置の製造方法、エッチングプログラムおよびプラズマ処理装置 2025年10月31日
特許 7763302 プラズマ処理システム及び環状部材の取り付け方法 2025年10月31日
特許 7763304 静電チャック、基板支持器、及びプラズマ処理装置 2025年10月31日
特許 7763312 基板処理方法及びプラズマ処理装置 2025年10月31日
特許 7761356 基板接合システム及び基板接合方法 2025年10月28日
特許 7761357 基板処理装置、及び基板処理方法 2025年10月28日

830 件中 106-120 件を表示

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7765772 7765154 7765155 7765158 7763669 7763711 7763025 7763106 7763181 7763251 7763302 7763304 7763312 7761356 7761357

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