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東京エレクトロン株式会社

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  2025年 特許取得件数ランキング    第23位 821件 上昇2024年:第25位 802件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7774375 エッチング方法及びプラズマ処理装置 2025年11月21日
特許 7774416 基板載置方法および基板載置機構 2025年11月21日
特許 7774539 成膜装置および成膜方法 2025年11月21日
特許 7774638 基板処理方法および基板処理装置 2025年11月21日
特許 7774651 プラズマ処理システム 2025年11月21日
特許 7774687 プラズマ処理装置 2025年11月21日
特許 7773690 基板を処理する装置、及び基板を処理する方法 2025年11月20日
特許 7773884 基板処理方法及び基板処理システム 2025年11月20日
特許 7773971 エッチング方法及びプラズマ処理装置 2025年11月20日
特許 7774071 加熱処理装置、加熱処理方法及びコンピュータ記憶媒体 2025年11月20日
特許 7774140 基板処理装置、基板処理方法及びコンピュータ読み取り可能な記録媒体 2025年11月20日
特許 7773277 基板処理方法 2025年11月19日
特許 7771599 基板処理を行う装置、ガスシャワーヘッド、及び基板処理を行う方法 2025年11月18日
特許 7771609 基板処理装置及び基板処理方法 2025年11月18日
特許 7771621 基板搬送装置及び基板搬送方法 2025年11月18日

830 件中 61-75 件を表示

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7774375 7774416 7774539 7774638 7774651 7774687 7773690 7773884 7773971 7774071 7774140 7773277 7771599 7771609 7771621

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