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東京エレクトロン株式会社

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  2025年 特許取得件数ランキング    第20位 761件 上昇2024年:第25位 802件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7730795 プラズマ処理装置及び検出方法 2025年 8月28日
特許 7730985 塗布処理方法、記憶媒体、及び塗布処理装置 2025年 8月28日
特許 7731001 基板処理装置、基板処理方法、及び基板処理プログラム 2025年 8月28日
特許 7729705 半導体製造装置及び半導体装置の製造方法 2025年 8月26日
特許 7729706 温度校正システム、検査装置および温度校正方法 2025年 8月26日
特許 7728865 クリーニング方法およびプラズマ処理方法 2025年 8月25日
特許 7728939 載置台 2025年 8月25日
特許 7728062 処理システム及び搬送方法 2025年 8月22日
特許 7728103 基板処理装置および基板処理方法 2025年 8月22日
特許 7728227 基板処理方法及び基板処理装置 2025年 8月22日
特許 7728376 プラズマ処理装置および基板処理装置 2025年 8月22日
特許 7728419 載置台及び基板処理装置 2025年 8月22日
特許 7727163 超臨界流体計測のためのラマンセンサ 2025年 8月21日
特許 7727361 同軸透視検査システム 2025年 8月21日
特許 7727429 基板処理方法、基板処理装置、および記憶媒体 2025年 8月21日

769 件中 181-195 件を表示

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7730795 7730985 7731001 7729705 7729706 7728865 7728939 7728062 7728103 7728227 7728376 7728419 7727163 7727361 7727429

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