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東京エレクトロン株式会社

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7693484 基板処理装置及び基板処理方法 2025年 6月17日
特許 7693485 基板処理装置及び基板処理方法 2025年 6月17日
特許 7693490 成膜装置及び成膜方法 2025年 6月17日
特許 7693604 基板処理装置 2025年 6月17日
特許 7693762 基板処理装置 2025年 6月17日
特許 7693795 半導体製造装置及び半導体製造装置用の部品 2025年 6月17日
特許 7692696 基板処理方法および基板処理装置 2025年 6月16日
特許 7692775 基板処理方法、基板処理装置および半導体構造 2025年 6月16日
特許 7692783 プラズマ処理装置及び終点検出方法 2025年 6月16日
特許 7692786 プラズマ処理装置 2025年 6月16日
特許 7692789 直動機構、位置決め機構、接合装置および接合方法 2025年 6月16日
特許 7692853 エッチング制御方法およびエッチング制御システム 2025年 6月16日
特許 7693004 基板処理方法および基板処理装置 2025年 6月16日
特許 7693013 基板処理装置 2025年 6月16日
特許 7693066 基板処理システム及び収納モジュール 2025年 6月16日

748 件中 346-360 件を表示

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7693484 7693485 7693490 7693604 7693762 7693795 7692696 7692775 7692783 7692786 7692789 7692853 7693004 7693013 7693066

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