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東京エレクトロン株式会社

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  2025年 特許取得件数ランキング    第22位 749件 上昇2024年:第25位 802件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7668093 成膜方法、成膜装置、および半導体装置の製造方法 2025年 4月24日
特許 7668157 基板支持器、プラズマ処理装置、及びプラズマ処理方法 2025年 4月24日
特許 7668168 プラズマ処理装置のチャンバ内の部品を再生する方法 2025年 4月24日
特許 7668413 基板処理システム 2025年 4月24日
特許 7666133 カップ、液処理装置及び液処理方法 2025年 4月22日
特許 7666234 基板に成膜処理を行う装置、及び基板に成膜処理を行う装置から処理ガスを排気する方法 2025年 4月22日
特許 7666864 シリコン窒化膜の形成方法及び成膜装置 2025年 4月22日
特許 7666866 デバイス検査装置及びデバイス検査方法 2025年 4月22日
特許 7666868 検査システムの検査方法、および検査システム 2025年 4月22日
特許 7667060 プラズマ処理方法及びプラズマ処理システム 2025年 4月22日
特許 7665312 基板処理方法および基板処理装置 2025年 4月21日
特許 7665464 基板処理装置及び基板処理方法 2025年 4月21日
特許 7665757 現像処理装置及び現像処理方法 2025年 4月21日
特許 7665837 洗浄方法及び塗布装置 2025年 4月21日
特許 7664717 真空処理装置および傾き調整方法 2025年 4月18日

757 件中 496-510 件を表示

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7668093 7668157 7668168 7668413 7666133 7666234 7666864 7666866 7666868 7667060 7665312 7665464 7665757 7665837 7664717

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