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東京エレクトロン株式会社

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  2025年 特許取得件数ランキング    第22位 749件 上昇2024年:第25位 802件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7664775 プラズマ処理装置及びライナアセンブリ 2025年 4月18日
特許 7664776 プラズマ処理装置 2025年 4月18日
特許 7664783 プラズマ処理装置、プラズマ処理装置で使用する上部電極アセンブリ、上部電極アセンブリの製造方法、及び、上部電極アセンブリの再生方法 2025年 4月18日
特許 7664785 基板処理装置および基板処理方法 2025年 4月18日
特許 7664869 モデルベース制御方法、モデルベース制御システム、およびプログラム 2025年 4月18日
特許 7665058 基板処理装置および基板処理方法 2025年 4月18日
特許 7664085 エッチング方法およびエッチング装置 2025年 4月17日
特許 7664088 基板処理方法及び基板処理装置 2025年 4月17日
特許 7664139 エッチング方法及びプラズマ処理装置 2025年 4月17日
特許 7664141 基板処理装置、及び基板処理方法 2025年 4月17日
特許 7663367 基板処理装置および基板処理方法 2025年 4月16日
特許 7661794 基板処理装置及び基板処理方法 2025年 4月15日
特許 7662061 塗布膜形成装置、塗布膜形成方法及び記憶媒体 2025年 4月15日
特許 7662211 液体分配及びカバレージ制御のためのシステム及び方法 2025年 4月15日
特許 7662229 同軸透過型整列結像システム 2025年 4月15日

757 件中 511-525 件を表示

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7664775 7664776 7664783 7664785 7664869 7665058 7664085 7664088 7664139 7664141 7663367 7661794 7662061 7662211 7662229

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