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東京エレクトロン株式会社

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  2025年 特許取得件数ランキング    第22位 749件 上昇2024年:第25位 802件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7674065 基板保持機構及びこれを用いた基板処理装置、並びに基板交換方法 2025年 5月 9日
特許 7674067 プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 2025年 5月 9日
特許 7674068 半導体チップの製造方法、及び基板処理装置 2025年 5月 9日
特許 7674223 プラズマ処理方法及びプラズマ処理システム 2025年 5月 9日
特許 7672943 プラズマ処理装置及び基板処理方法 2025年 5月 8日
特許 7672468 真空搬送装置および真空搬送装置の制御方法 2025年 5月 7日
特許 7672491 基板処理システム、及び基板処理方法 2025年 5月 7日
特許 7672541 基板処理装置 2025年 5月 7日
特許 7671558 トラックシステムに統合するための長波赤外線熱センサ 2025年 5月 2日
特許 7671638 ノズルユニット、液処理装置及び液処理方法 2025年 5月 2日
特許 7671680 プラズマ処理方法及びプラズマ処理装置 2025年 5月 2日
特許 7671684 エッチング方法及びプラズマ処理装置 2025年 5月 2日
特許 7671717 プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 2025年 5月 2日
特許 7671928 プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 2025年 5月 2日
特許 7671929 プラズマ処理装置及び基板処理システム 2025年 5月 2日

757 件中 466-480 件を表示

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7674065 7674067 7674068 7674223 7672943 7672468 7672491 7672541 7671558 7671638 7671680 7671684 7671717 7671928 7671929

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