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東京エレクトロン株式会社

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  2025年 特許取得件数ランキング    第22位 749件 上昇2024年:第25位 802件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7671181 基板処理方法および基板処理装置 2025年 5月 1日
特許 7670434 スパッタ装置及びスパッタ装置の制御方法 2025年 4月30日
特許 7670436 処理装置及び処理方法 2025年 4月30日
特許 7670437 処理装置及びガス供給方法 2025年 4月30日
特許 7670438 基板処理装置、及び基板処理方法 2025年 4月30日
特許 7670439 温度補正情報算出装置、半導体製造装置、プログラム、温度補正情報算出方法 2025年 4月30日
特許 7670440 熱処理装置の制御方法、熱処理装置の制御装置 2025年 4月30日
特許 7670441 シャワーヘッド電極組立体及びプラズマ処理装置 2025年 4月30日
特許 7670449 異常検知装置、異常検知方法及び異常検知プログラム 2025年 4月30日
特許 7669171 校正方法及び校正システム 2025年 4月28日
特許 7669303 光路長測定誤差を補正するシステム及び方法 2025年 4月28日
特許 7668682 温度制御装置および基板処理装置 2025年 4月25日
特許 7668697 基板処理方法 2025年 4月25日
特許 7667933 狭小トレンチを形成する方法 2025年 4月24日
特許 7667981 高度回路アーキテクチャのための高密度ロジック及びメモリの製造方法 2025年 4月24日

757 件中 481-495 件を表示

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7671181 7670434 7670436 7670437 7670438 7670439 7670440 7670441 7670449 7669171 7669303 7668682 7668697 7667933 7667981

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