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東京エレクトロン株式会社

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  2025年 特許取得件数ランキング    第22位 749件 上昇2024年:第25位 802件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7638168 プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 2025年 3月 3日
特許 7638192 プラズマ処理装置 2025年 3月 3日
特許 7638371 プラズマ処理装置及びRFシステム 2025年 3月 3日
特許 7637561 締結構造、プラズマ処理装置及び締結方法 2025年 2月28日
特許 7637566 処理システム及び処理方法 2025年 2月28日
特許 7635511 スパッタリング処理を行う装置及び方法 2025年 2月26日
特許 7635529 固体原料の残存量を推定する方法、成膜を行う方法、原料ガスを供給する装置、及び成膜を行う装置 2025年 2月26日
特許 7635572 基板洗浄方法及び基板洗浄装置 2025年 2月26日
特許 7635625 容器、基板処理装置及び装置の運用方法 2025年 2月26日
特許 7635872 基板処理装置、及び基板処理方法。 2025年 2月26日
特許 7636076 情報処理装置、シミュレーション方法及び情報処理システム 2025年 2月26日
特許 7636077 エッチング装置及びエッチング方法 2025年 2月26日
特許 7636078 故障検知方法及びプラズマ処理装置 2025年 2月26日
特許 7636087 基板処理方法 2025年 2月26日
特許 7636103 載置台及び検査装置 2025年 2月26日

757 件中 631-645 件を表示

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7638168 7638192 7638371 7637561 7637566 7635511 7635529 7635572 7635625 7635872 7636076 7636077 7636078 7636087 7636103

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