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東京エレクトロン株式会社

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  2025年 特許取得件数ランキング    第22位 749件 上昇2024年:第25位 802件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7638733 表示方法、制御装置 2025年 3月 4日
特許 7638739 ハンドリング治具 2025年 3月 4日
特許 7638743 基板処理方法 2025年 3月 4日
特許 7638752 熱処理装置及び熱処理方法 2025年 3月 4日
特許 7638765 基板液処理装置および基板液処理方法 2025年 3月 4日
特許 7638766 成膜方法及び処理装置 2025年 3月 4日
特許 7638792 半導体製造装置及び温度制御方法 2025年 3月 4日
特許 7638821 基板水蒸気処理方法、および基板水蒸気処理システム 2025年 3月 4日
特許 7638843 基板処理システム及び搬送装置のティーチング方法 2025年 3月 4日
特許 7638930 プラズマ処理装置 2025年 3月 4日
特許 7639042 エッチング方法及びプラズマ処理装置 2025年 3月 4日
特許 7639122 基板液処理装置 2025年 3月 4日
特許 7638124 埋め込み方法および処理システム 2025年 3月 3日
特許 7638134 基板処理方法、記憶媒体及び基板処理装置 2025年 3月 3日
特許 7638138 基板処理装置および基板処理方法 2025年 3月 3日

757 件中 616-630 件を表示

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7638733 7638739 7638743 7638752 7638765 7638766 7638792 7638821 7638843 7638930 7639042 7639122 7638124 7638134 7638138

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