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東京エレクトロン株式会社

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  2025年 特許取得件数ランキング    第22位 749件 上昇2024年:第25位 802件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7642879 基板液処理装置及び基板液処理方法 2025年 3月10日
特許 7641788 クリーニング方法及びプラズマ処理装置 2025年 3月 7日
特許 7641827 基板処理装置 2025年 3月 7日
特許 7641875 基板処理装置 2025年 3月 7日
特許 7641878 測定方法及び測定システム 2025年 3月 7日
特許 7641923 エッチング方法及びプラズマ処理装置 2025年 3月 7日
特許 7642050 基板処理装置および基板処理方法 2025年 3月 7日
特許 7641170 基板処理装置及び基板処理方法 2025年 3月 6日
特許 7641434 基板処理方法、基板処理装置及び基板処理システム 2025年 3月 6日
特許 7641435 基板処理方法、基板処理装置及び基板処理システム 2025年 3月 6日
特許 7639540 基板を処理する装置、及び処理ガスの温度、濃度を測定する方法 2025年 3月 5日
特許 7638682 検査装置、チェンジキット、チェンジキットの交換方法 2025年 3月 4日
特許 7638700 基板処理方法及び基板処理装置 2025年 3月 4日
特許 7638723 検査装置のセットアップ方法及び検査装置 2025年 3月 4日
特許 7638727 基板処理方法及び基板処理装置 2025年 3月 4日

757 件中 601-615 件を表示

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7642879 7641788 7641827 7641875 7641878 7641923 7642050 7641170 7641434 7641435 7639540 7638682 7638700 7638723 7638727

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