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■ 2022年 出願公開件数ランキング 第428位 76件
(2021年:第283位 135件)
■ 2022年 特許取得件数ランキング 第234位 137件
(2021年:第250位 116件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 7007481 | 半導体装置の製造方法、基板処理方法、基板処理装置、およびプログラム | 2022年 1月24日 | |
特許 7000393 | 基板処理装置、ガスボックス及び半導体装置の製造方法 | 2022年 1月19日 | |
特許 6998106 | 基板処理装置、半導体装置の製造方法、プログラムおよび反応管 | 2022年 1月18日 | |
特許 6998347 | 基板処理装置、半導体装置の製造方法、及びプログラム | 2022年 1月18日 | |
特許 6999596 | 基板処理装置、半導体装置の製造方法及びプログラム | 2022年 1月18日 | |
特許 6999616 | 半導体装置の製造方法、基板処理方法、基板処理装置およびプログラム | 2022年 1月18日 | |
特許 6995902 | 基板処理装置及び半導体装置の製造方法並びに基板処理プログラム | 2022年 1月17日 | |
特許 6994060 | 基板処理装置、半導体装置の製造方法およびプログラム | 2022年 1月14日 | |
特許 6994483 | 半導体装置の製造方法、プログラム、及び基板処理装置 | 2022年 1月14日 | |
特許 6994524 | 基板処理装置、反応管及び半導体装置の製造方法 | 2022年 1月14日 | |
特許 6995073 | 基板処理装置及び半導体装置の製造方法、プログラム | 2022年 1月14日 | |
特許 6992156 | 処理装置、排気システム、半導体装置の製造方法 | 2022年 1月13日 | |
特許 6990297 | 部品の診断方法、半導体装置の製造方法、基板処理装置、及びプログラム | 2022年 1月12日 | |
特許 6990756 | 半導体装置の製造方法、基板処理装置およびプログラム | 2022年 1月12日 | |
特許 6987821 | 基板処理装置、半導体装置の製造方法およびプログラム | 2022年 1月 5日 |
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7007481 7000393 6998106 6998347 6999596 6999616 6995902 6994060 6994483 6994524 6995073 6992156 6990297 6990756 6987821
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