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ラム　リサーチ　コーポレーション

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ラム　リサーチ　コーポレーションの商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特許 5794988	局所的なプラズマ閉じ込め及び圧力制御の構成、並びにその方法	2015年10月14日
特許 5789598	粘弾性洗浄材料を使用して基板上の粒子を除去するための方法	2015年10月 7日
特許 5789614	めっき処理中の基板表面をウェットに維持するプロセス	2015年10月 7日
特許 5792069	チャック上でウエハのセンタリングを行なう方法およびシステム	2015年10月 7日
特許 5792174	一体化閉じ込めリング装置	2015年10月 7日
特許 5788388	プラズマ処理システム内でプラズマ閉じ込めを操作するための装置およびその方法	2015年 9月30日
特許 5779598	高スループットのための基板ロードおよびアンロードメカニズム	2015年 9月16日
特許 5780935	半導体ウェーハをメッキする装置及び方法	2015年 9月16日
特許 5781064	検出回路装置及び電流路の断絶を特定するための方法	2015年 9月16日
特許 5774488	ルテニウムの無電解析出のためのメッキ溶液	2015年 9月 9日
特許 5774582	半導体ウエハ上の液体メニスカスの物理的閉じ込めのための方法および装置	2015年 9月 9日
特許 5766230	プラズマ処理リアクタ	2015年 8月19日
特許 5762475	基板の洗浄溶液	2015年 8月12日
特許 5763076	ベベルエッチング用の流体送給を促進する装置及び方法	2015年 8月12日
特許 5759177	プラズマ処理装置、半導体基板を処理する方法、および軸直角変位ベローズユニット	2015年 8月 5日

69 件中 16-30 件を表示

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5794988 5789598 5789614 5792069 5792174 5788388 5779598 5780935 5781064 5774488 5774582 5766230 5762475 5763076 5759177

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