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  2015年 出願公開件数ランキング    第539位 62件 上昇2014年: 0件)

  2015年 特許取得件数ランキング    第376位 69件 上昇2014年: 0件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 5662340 複合型ウエハ領域圧力制御およびプラズマ閉じ込めアセンブリ、プラズマ処理システムとその製造方法 2015年 1月28日
特許 5662341 プラズマ処理システムにおけるプラズマ閉じ込め構造、プラズマ処理システムとその製造方法 2015年 1月28日
特許 5662435 損傷を与えない高効率な粒子除去洗浄 2015年 1月28日
特許 5662451 閉じ込めリングの配置を制御する直接駆動装置およびその方法 2015年 1月28日
特許 5662504 基板の位置決めオフセットの補正方法 2015年 1月28日
特許 5656626 半導体材料処理装置用の低粒子性能を有するシャワーヘッド電極及びシャワーヘッド電極アセンブリ 2015年 1月21日
特許 5647603 加工済みフィーチャの断層像をつくる方法および1または複数の加工済みフィーチャの画像を生成する方法 2015年 1月 7日
特許 5647614 二相汚染物質除去媒体の組成及び適用 2015年 1月 7日
特許 5650547 カムロック電極クランプ 2015年 1月 7日

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5662340 5662341 5662435 5662451 5662504 5656626 5647603 5647614 5650547

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