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ラム　リサーチ　コーポレーション

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　■　2015年出願公開件数ランキング　　　第539位　62件（2014年：　0件）

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ラム　リサーチ　コーポレーションの商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特許 5756797	プロキシミティヘッドの表面形状変更	2015年 7月29日
特許 5745519	高周波（ＲＦ）接地帰還構成	2015年 7月 8日
特許 5743895	プラズマ処理チャンバの下側電極アセンブリ	2015年 7月 1日
特許 5734184	プラズマ処理チャンバ内のその場（ｉｎ−ｓｉｔｕ）アーク放電事象を検出するための構成、及び、アーク放電事象を検出する方法	2015年 6月17日
特許 5734185	プラズマ処理チャンバ内のプラズマ不安定性事象を検出するための構成、及び、プラズマ不安定性事象を検出する方法	2015年 6月17日
特許 5734409	処理ツールにおける粒子数減少のための空気流管理システム及び空気流管理システムを提供する方法	2015年 6月17日
特許 5735499	基板処理中に自動的に障害状態を検出及び分類するための方法及び装置	2015年 6月17日
特許 5735513	基板位置及び基板電位へのプラズマ信号の結合に基づくプラズマデチャック最適化のための方法と装置	2015年 6月17日
特許 5730298	粒子汚染物除去方法およびそのシステム	2015年 6月10日
特許 5731587	プラズマ処理チャンバ	2015年 6月10日
特許 5726730	プラズマを自動的に特徴付けるための方法、及び、その方法の少なくとも１つを実行するコンピュータ可読コードを格納するプログラム格納媒体	2015年 6月 3日
特許 5726736	プレナムを介して流下する流体からの気泡の除去	2015年 6月 3日
特許 5726769	パーティクル汚染物質除去の方法	2015年 6月 3日
特許 5726886	電力回路のためのＲＦ分離を提供するための方法及びシステム	2015年 6月 3日
特許 5726897	回転式シャッタを有する脱ガスチャンバのＵＶランプアセンブリ	2015年 6月 3日

69 件中 31-45 件を表示

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5756797 5745519 5743895 5734184 5734185 5734409 5735499 5735513 5730298 5731587 5726730 5726736 5726769 5726886 5726897

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