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ラム　リサーチ　コーポレーション

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ラム　リサーチ　コーポレーションの商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特表 2023-530678	基板処理システムのダイレクトドライブ回路内のスイッチの保護システム	2023年 7月19日
特表 2023-530411	シャワーヘッド分割冷却板	2023年 7月18日
特表 2023-530299	金属含有フォトレジスト堆積のための表面改質	2023年 7月14日
特表 2023-530125	ＲＦ信号のパラメータのパルス化周波数およびデューティサイクルの制御	2023年 7月13日
特表 2023-529772	基板支持部温度プローブの診断および管理	2023年 7月12日
特開 2023-99050	加熱素子が埋め込まれた基板支持体のための長寿命高出力端子	2023年 7月11日
特開 2023-99172	リニア真空搬送モジュールを有する省スペースプラットフォームアーキテクチャ	2023年 7月11日
特表 2023-529651	フラットボトムシャドーリング	2023年 7月11日
特表 2023-529359	インフィーチャウェットエッチ速度比低減	2023年 7月10日
特表 2023-529446	複数の加熱ゾーンおよび熱ボイドを使用した台座熱プロファイルの調節	2023年 7月10日
特表 2023-529452	チャンバクリーニングにおける酸化スズの除去	2023年 7月10日
特表 2023-529454	チャンバ洗浄方法	2023年 7月10日
特表 2023-529498	半導体処理ツール用の角度付ガス分配通路を伴うシャワーヘッドフェースプレート	2023年 7月10日
特表 2023-529166	半導体処理ツールのための着脱可能シャワーヘッドフェースプレート	2023年 7月 7日
特開 2023-96051	低角度拡散のマルチレベルパラメータおよび周波数パルス	2023年 7月 6日

259 件中 91-105 件を表示

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2023-530678 2023-530411 2023-530299 2023-530125 2023-529772 2023-99050 2023-99172 2023-529651 2023-529359 2023-529446 2023-529452 2023-529454 2023-529498 2023-529166 2023-96051

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