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ラム　リサーチ　コーポレーション

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　■　2023年特許取得件数ランキング　　　第292位　112件（2022年：第512位　53件）

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ラム　リサーチ　コーポレーションの商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特開 2023-93567	照射フォトレジストパターニングのための統合乾式プロセス	2023年 7月 4日
特表 2023-528378	自動外観検査システム	2023年 7月 4日
特表 2023-528470	効率的な熱伝達のためのモノブロック台座	2023年 7月 4日
特表 2023-527965	プラズマツールにおけるセンサデータ圧縮	2023年 7月 3日
特表 2023-527988	分散型プラズマ源アレイ	2023年 7月 3日
特表 2023-527630	基板処理システムにおける中間リング腐食補償	2023年 6月30日
特表 2023-527774	低抵抗率の接点および相互接続	2023年 6月30日
特表 2023-527503	基板処理システムのための高精度エッジリングのセンタリング	2023年 6月29日
特表 2023-526789	誘電体表面の湿式官能化	2023年 6月23日
特表 2023-526591	リモートプラズマ洗浄（ＲＰＣ）方向流装置	2023年 6月22日
特表 2023-526385	ナノ双晶銅フィーチャおよび非ナノ双晶銅フィーチャの電気めっき	2023年 6月21日
特表 2023-525710	ＣＤ制御をパターン化するための自動化フィードフォワードおよびフィードバックシーケンス	2023年 6月19日
特表 2023-525793	基板からの刺激応答性ポリマーの残留物のない除去	2023年 6月19日
特表 2023-525797	静電チャックの気化冷却	2023年 6月19日
特開 2023-82089	異方性パターンエッチングおよび処理のための方法および装置	2023年 6月13日

259 件中 106-120 件を表示

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2023-93567 2023-528378 2023-528470 2023-527965 2023-527988 2023-527630 2023-527774 2023-527503 2023-526789 2023-526591 2023-526385 2023-525710 2023-525793 2023-525797 2023-82089

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