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ラム　リサーチ　コーポレーション

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公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特開 2023-104994	高電力回路からの切り離しを伴わない静電容量測定	2023年 7月28日
特表 2023-532425	自動シャワーヘッド傾斜調整	2023年 7月28日
特表 2023-532506	シャンデリア型シャワーヘッドの取り付けのためのツールおよび方法	2023年 7月28日
特表 2023-532276	プラズマインピーダンスが半径方向に変化するキャリアリング	2023年 7月27日
特表 2023-532277	裏面処理のためのステーション可変支持フィーチャを備えたマルチステーション処理ツール	2023年 7月27日
特開 2023-103331	ウエハ裏面における堆積の低減のための可変温度ハードウェアおよび方法	2023年 7月26日
特開 2023-103366	複数の状態で反射電力を低減するようにチューニングするためのシステムおよび方法	2023年 7月26日
特開 2023-103367	マルチステーション型堆積システムにおける膜厚整合のための、サイクル及び時間が可変のＲＦ活性化方法	2023年 7月26日
特開 2023-103386	高アスペクト比エッチングのためのプラズマエッチングツール	2023年 7月26日
特表 2023-531914	基板全体にわたるプラズマプロセス結果の均一性を制御するためにバイアス無線周波数供給において低周波数高調波を使用するためのシステムおよび方法	2023年 7月26日
特表 2023-532118	半導体デバイスにおける層内静電容量の低減	2023年 7月26日
特表 2023-532119	間欠的なよどみ流	2023年 7月26日
特表 2023-531617	阻害剤としてグラフェンを使用する選択的堆積	2023年 7月25日
特表 2023-531102	フォトレジストの乾式裏面及びベベルエッジ洗浄	2023年 7月20日
特開 2023-100839	ウエハ縁部接触ハードウェア、ならびにウエハの裏面縁部およびノッチで堆積物を除去する方法	2023年 7月19日

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2023-104994 2023-532425 2023-532506 2023-532276 2023-532277 2023-103331 2023-103366 2023-103367 2023-103386 2023-531914 2023-532118 2023-532119 2023-531617 2023-531102 2023-100839

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