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ラム リサーチ コーポレーション

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  2023年 出願公開件数ランキング    第146位 259件 上昇2022年:第198位 187件)

  2023年 特許取得件数ランキング    第292位 112件 上昇2022年:第512位 53件)

(ランキング更新日:2025年6月10日)筆頭出願人である出願のみカウントしています

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特表 2023-535293 低減された内部容積を有するシャワーヘッド 2023年 8月17日
特表 2023-535349 感光性ハイブリッド膜の形成方法 2023年 8月17日
特開 2023-113837 高エネルギー原子層エッチング 2023年 8月16日
特開 2023-113892 3D NAND及び他の用途のためのモリブデン充填 2023年 8月16日
特表 2023-534960 有機共反応物を含む乾式堆積フォトレジスト 2023年 8月15日
特表 2023-534961 タンタルを含むフォトレジスト 2023年 8月15日
特表 2023-534962 金属含有フォトレジストの現像のための金属キレート剤 2023年 8月15日
特表 2023-534801 プラズマチャンバのRFコイルを逆同期でパルシングすること 2023年 8月14日
特表 2023-533710 表面保護及び待ち時間延長のための除去可能なCVDポリマーフィルム 2023年 8月 4日
特表 2023-533859 基板支持セラミックにワイヤを取り付ける方法 2023年 8月 4日
特表 2023-533441 原子層堆積を用いるプラズマエッチングツール内で用いられる構成要素の表面の密封 2023年 8月 3日
特表 2023-533499 プラズマ処理システムの無線周波数供給システムからプロセス制御情報を抽出するためのシステムおよび方法 2023年 8月 3日
特表 2023-533500 調節可能な形状トリムコイル 2023年 8月 3日
特表 2023-532865 複数の生成器および位相制御を用いたイオンエネルギー送出のためのプロセス制御 2023年 8月 1日
特表 2023-532916 耐食性のための摩擦攪拌処理 2023年 8月 1日

259 件中 61-75 件を表示

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2023-535293 2023-535349 2023-113837 2023-113892 2023-534960 2023-534961 2023-534962 2023-534801 2023-533710 2023-533859 2023-533441 2023-533499 2023-533500 2023-532865 2023-532916

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