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ラム リサーチ コーポレーション
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■ 2023年 出願公開件数ランキング 第146位 259件
（
2022年：第198位 187件）
■ 2023年 特許取得件数ランキング 第292位 112件
（2022年：第512位 53件）
（ランキング更新日：2025年8月25日）筆頭出願人である出願のみカウントしています
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ラム リサーチ コーポレーションの商標一覧| 公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特許 7211716 | ハロゲン除去モジュールならびに関連のシステムおよび方法 | 2023年 1月24日 | |
| 特許 7210538 | 周期的な不動態化およびエッチングを使用する高アスペクト比の選択的横方向エッチング | 2023年 1月23日 | |
| 特許 7210579 | 基板を処理するための周波数同調と整合同調とを重複させずに適用するためのシステムおよび方法 | 2023年 1月23日 | |
| 特許 7209155 | デザイナー原子層エッチング | 2023年 1月20日 | |
| 特許 7203099 | 半導体ウエハ製造のためのマッチレスプラズマ源および高周波電力供給方法 | 2023年 1月12日 | |
| 特許 7200101 | 静電気的にクランプされたエッジリング | 2023年 1月 6日 | |
| 特許 7199381 | リソグラフィにおける確率的な歩留まりへの影響の排除 | 2023年 1月 5日 | |
| 特許 7199414 | シャワーヘッドチルト機構 | 2023年 1月 5日 |
113 件中 106-113 件を表示
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7211716 7210538 7210579 7209155 7203099 7200101 7199381 7199414
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