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ラム　リサーチ　コーポレーション

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公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特許 7366918	誘電体における高アスペクト比フィーチャのプラズマエッチング化学物質	2023年10月23日
特許 7362621	化学的阻害を使用する膜の共形性調整	2023年10月17日
特許 7361709	埋め込み温度センサを備えた基板支持体のためのコネクタ	2023年10月16日
特許 7359789	基板処理システムのための直接駆動ＲＦ回路	2023年10月11日
特許 7359839	小型高密度プラズマ供給源	2023年10月11日
特許 7356409	キロヘルツ無線周波数発生器の存在下でメガヘルツ無線周波数発生器の供給電力の効率性を高めるためのシステムおよび方法	2023年10月 4日
特許 7356446	封止表面を有する静電チャック	2023年10月 4日
特許 7354138	酸化ハフニウム系強誘電材料のためのキャップ層	2023年10月 2日
特許 7344867	水平表面上におけるＳｉＮの選択的堆積	2023年 9月14日
特許 7344887	移動式基板搬送チャンバ	2023年 9月14日
特許 7340912	汎用マルチプロトコル産業用データロガー	2023年 9月 8日
特許 7341237	ピンリフター試験基板	2023年 9月 8日
特許 7339327	プラズマソース用の磁気シールド	2023年 9月 5日
特許 7336465	テレセントリックレンズ、光ビーム折り畳みアセンブリ、またはポリゴンスキャナを有するレンズ回路を含む原子層エッチングおよび原子層堆積の処理システム	2023年 8月31日
特許 7335999	メインＲＦ発生器およびエッジＲＦ発生器を同期させることによってプラズマチャンバ内のエッジ領域に関連する予め定められた要素を達成するためのシステムおよび方法	2023年 8月30日

113 件中 31-45 件を表示

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7366918 7362621 7361709 7359789 7359839 7356409 7356446 7354138 7344867 7344887 7340912 7341237 7339327 7336465 7335999

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