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ラム　リサーチ　コーポレーション

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ラム　リサーチ　コーポレーションの商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特許 7254791	異方性パターンエッチングおよび処理のための方法および装置	2023年 4月10日
特許 7254042	基板処理システムのためのＤＣバイアス回路及びガス供給システム	2023年 4月 7日
特許 7254181	複数のステーションシステムにおいてプラズマを平準化するために使用されるモジュール式レシピ制御較正（ＭＲＣＣ）装置	2023年 4月 7日
特許 7247207	半導体処理ツールにおけるＲＦ電流測定	2023年 3月28日
特許 7246547	単一プラズマチャンバにおける、限界寸法制御のための原子層堆積及びエッチング	2023年 3月27日
特許 7241705	半導体製造における金属ドープ炭素系ハードマスクの除去	2023年 3月17日
特許 7232823	犠牲エッチングキャップ層を利用した高アスペクト比フィーチャの誘電体ギャップ充填	2023年 3月 3日
特許 7232864	寄生プラズマを抑制してウエハ内での不均一性を低減するための基板処理システム	2023年 3月 3日
特許 7231669	冷却ガス区画および対応する溝ならびに単極静電クランプ電極パターンを備える静電チャック	2023年 3月 1日
特許 7229232	小さい角発散でピークイオンエネルギ増強を達成するためのシステムおよび方法	2023年 2月27日
特許 7227154	柔軟なウエハ温度制御を伴う静電チャック	2023年 2月21日
特許 7227246	１つまたは複数のヒータ層を有する基板処理システムのプリント回路制御基板アセンブリ	2023年 2月21日
特許 7224335	モリブデンを含有する低抵抗膜	2023年 2月17日
特許 7223521	ＲＦ環境内で加熱される構成要素のための高電力ケーブル	2023年 2月16日
特許 7220251	ミドルリング	2023年 2月 9日

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7254791 7254042 7254181 7247207 7246547 7241705 7232823 7232864 7231669 7229232 7227154 7227246 7224335 7223521 7220251

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