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ラム　リサーチ　コーポレーション

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ラム　リサーチ　コーポレーションの商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特許 7313528	流れ均一性を改善させるためのフェースプレート穴を有する低容積シャワーヘッド	2023年 7月24日
特許 7311253	半導体製造装置のためのユーザ相互作用を自動化するシステムおよび方法	2023年 7月19日
特許 7307745	窒化ハフニウム層による酸化ハフニウムの強誘電特性の変更	2023年 7月12日
特許 7303796	基板の選択した側に堆積させるためのＰＥＣＶＤ堆積システム	2023年 7月 5日
特許 7303830	静電チャックフィルターボックスおよび取付けブラケット	2023年 7月 5日
特許 7303926	追加の回転軸を有する回転インデクサ	2023年 7月 5日
特許 7303245	ウエハ裏面における堆積の低減のための可変温度ハードウェアおよび方法	2023年 7月 4日
特許 7296962	半導体ＲＦプラズマ処理のためのパルス内のＲＦパルス	2023年 6月23日
特許 7296378	ＰＥＣＶＤ金属ドープ炭素ハードマスクのための同質界面層を蒸着するためのシステムおよび方法	2023年 6月22日
特許 7293211	高エネルギー原子層エッチング	2023年 6月19日
特許 7292256	モノリシックセラミックガス分配プレート	2023年 6月16日
特許 7290634	リアクタの処理バッチサイズを増加させるための方法および装置	2023年 6月13日
特許 7286666	高電力回路からの切り離しを伴わない静電容量測定	2023年 6月 5日
特許 7282795	低角度拡散のマルチレベルパラメータおよび周波数パルス	2023年 5月29日
特許 7282830	蒸着金属酸化物含有ハードマスクのＥＵＶフォトパターニング	2023年 5月29日

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7313528 7311253 7307745 7303796 7303830 7303926 7303245 7296962 7296378 7293211 7292256 7290634 7286666 7282795 7282830

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