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ラム　リサーチ　コーポレーション

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公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特許 7389285	複数のステーションシステムにおいてプラズマを平準化するために使用されるモジュール式レシピ制御較正（ＭＲＣＣ）装置	2023年11月29日
特許 7386270	断続的な再修復プラズマを用い、ＡＬＤによる酸化ケイ素表面コーティングを使用したラジカル再結合の最少化	2023年11月24日
特許 7385560	シリコンチューブを製造するための炉および鋳型を含む電磁鋳造システム	2023年11月22日
特許 7384792	プラズマ加熱された窓のマルチゾーン冷却	2023年11月21日
特許 7383665	正面開口式リングポッド	2023年11月20日
特許 7382339	ＭＥＭＳに基づくコリオリ質量流コントローラ	2023年11月16日
特許 7382512	照射フォトレジストパターニングのための統合乾式プロセス	2023年11月16日
特許 7376507	ウエハチャックアセンブリ	2023年11月 8日
特許 7376648	結合リング内に電極を使用することによってエッジ領域におけるイオンの方向性を制御するためのシステム及び方法	2023年11月 8日
特許 7374103	静電チャック（ＥＳＣ）ペデスタル電圧分離	2023年11月 6日
特許 7374223	プラズマソース／バイアス電力伝送の高速同期	2023年11月 6日
特許 7373022	開放空間均圧化通路および側方閉じ込めを備えた平坦な基板縁部接触部	2023年11月 1日
特許 7370377	基板処理システムにおけるマッチレスプラズマ源のための直接周波数同調	2023年10月27日
特許 7368394	ライナの不動態化および接着性改善のための金属ライナのジンケート処理およびドーピング	2023年10月24日
特許 7368520	エッジリングの位置決めおよびセンタリング機構を組み込んだプラズマシース調整のための交換可能および／または折りたたみ式エッジリングアセンブリ	2023年10月24日

113 件中 16-30 件を表示

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7389285 7386270 7385560 7384792 7383665 7382339 7382512 7376507 7376648 7374103 7374223 7373022 7370377 7368394 7368520

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