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ラム　リサーチ　コーポレーション

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ラム　リサーチ　コーポレーションの商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特許 7335060	ＲＦおよびガス供給のための金属化セラミック管を備える基板台座モジュール	2023年 8月29日
特許 7335243	ＡＬＤ膜特性の補正および可調節性のためのマルチゾーン台座	2023年 8月29日
特許 7334166	パターニングにおける酸化スズマンドレル	2023年 8月28日
特許 7334185	マルチプルパターンニング処理での原子層堆積を使用するスペーサプロファイル制御	2023年 8月28日
特許 7333780	プラズマ処理副生成物を管理するための構成要素および処理	2023年 8月25日
特許 7330954	金属酸化物の原子層エッチング	2023年 8月22日
特許 7326269	回転関節エンコーダを備えるウエハハンドリングロボット	2023年 8月15日
特許 7326359	半導体製造チャンバ内の消耗部品の余寿命の推定	2023年 8月15日
特許 7325417	半導体処理のためのチャンバ構成要素のエクスサイチュコーティング	2023年 8月14日
特許 7323525	エッジリング摩耗補償のためのシステムおよび方法	2023年 8月 8日
特許 7321938	周波数調整を用いたデュアルレベルパルス化のためのＲＦ整合回路網内の補助回路	2023年 8月 7日
特許 7320168	デザイナー原子層エッチング	2023年 8月 3日
特許 7320563	高温基板台座モジュール及びその構成要素	2023年 8月 3日
特許 7320085	交互のエッチングプロセスおよび不動態化プロセス	2023年 8月 2日
特許 7317470	パターン崩壊を防ぐためのエッチング後処理	2023年 7月31日

113 件中 46-60 件を表示

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7335060 7335243 7334166 7334185 7333780 7330954 7326269 7326359 7325417 7323525 7321938 7320168 7320563 7320085 7317470

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