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ラム　リサーチ　コーポレーション

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ラム　リサーチ　コーポレーションの商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特許 7282910	高アスペクト比エッチングのためのプラズマエッチングツール	2023年 5月29日
特許 7282037	複数の状態で反射電力を低減するようにチューニングするためのシステムおよび方法	2023年 5月26日
特許 7282130	マルチステーション型堆積システムにおける膜厚整合のための、サイクル及び時間が可変のＲＦ活性化方法	2023年 5月26日
特許 7281506	付加製造されたガス分配マニホールド	2023年 5月25日
特許 7275039	リニア真空搬送モジュールを有する省スペースプラットフォームアーキテクチャ	2023年 5月17日
特許 7274460	光計測を質量計測と組合せるためのシステム及び方法	2023年 5月16日
特許 7271443	半導体処理で使用するための静電チャック	2023年 5月11日
特許 7269296	方法およびエッチングシステム	2023年 5月 8日
特許 7269327	加熱素子が埋め込まれた基板支持体のための長寿命高出力端子	2023年 5月 8日
特許 7267926	半導体デバイス製造における酸化スズ膜	2023年 5月 2日
特許 7266524	処理均一性を改善した基板支持体	2023年 4月28日
特許 7262170	半導体処理ツールとの随意の統合を伴うスマートバイブレーションウエハ	2023年 4月21日
特許 7258962	半導体処理装置においてシャワーヘッド傾斜を動的に調整するためのアクチュエータ	2023年 4月17日
特許 7254437	シリコン部品を調整するための方法	2023年 4月10日
特許 7254473	プラズマ処理チャンバのための電極	2023年 4月10日

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7282910 7282037 7282130 7281506 7275039 7274460 7271443 7269296 7269327 7267926 7266524 7262170 7258962 7254437 7254473

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