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ラム リサーチ コーポレーション

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  2024年 出願公開件数ランキング    第178位 197件 下降2023年:第146位 259件)

  2024年 特許取得件数ランキング    第216位 154件 上昇2023年:第292位 112件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7574360 3D NAND及び他の用途のためのモリブデン充填 2024年10月28日
特許 7573521 3端子メモリデバイスの自己整列垂直統合 2024年10月25日
特許 7572424 マルチステーション処理モジュールにおけるウエハ搬送のためのスピンドルアセンブリ 2024年10月23日
特許 7572528 プラズマチャンバ内で使用するためのリング構造およびシステム 2024年10月23日
特許 7571017 半導体製造における二相冷却 2024年10月22日
特許 7571193 低角度拡散のマルチレベルパラメータおよび周波数パルス 2024年10月22日
特許 7569858 無線周波数支援プラズマ生成におけるインピーダンス変換 2024年10月18日
特許 7568654 均一性調整のためのシャワーヘッドインサート 2024年10月16日
特許 7566873 複数の出力ポートを有する無線周波数電力発生器 2024年10月15日
特許 7565916 処理チャンバの表面からの金属汚染物質の除去 2024年10月11日
特許 7564088 アーク発生を防止または抑制するための化学蒸着ツール 2024年10月 8日
特許 7562637 マスク形状を制御し、選択性対プロセスマージンのトレードオフを破壊するためのマルチステートRFパルス 2024年10月 7日
特許 7562668 基板処理において均一性を実現する変圧器の使用のためのシステム及び方法 2024年10月 7日
特許 7562696 フォトレジストのドライ除去用プロセスツール 2024年10月 7日
特許 7561123 エッチングチャンバーにおける方向性堆積 2024年10月 3日

154 件中 31-45 件を表示

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7574360 7573521 7572424 7572528 7571017 7571193 7569858 7568654 7566873 7565916 7564088 7562637 7562668 7562696 7561123

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