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ラム　リサーチ　コーポレーション

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ラム　リサーチ　コーポレーションの商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特許 7502545	照射フォトレジストパターニングのための統合乾式プロセス	2024年 6月18日
特許 7498323	冷却ガス区画および対応する溝ならびに単極静電クランプ電極パターンを備える静電チャック	2024年 6月11日
特許 7497420	カメラウエハを使用した台座セットアップ	2024年 6月10日
特許 7494209	調整された原子層堆積	2024年 6月 3日
特許 7494291	半導体装置用の収着チャンバ壁	2024年 6月 3日
特許 7488815	窒化ケイ素膜を堆積させる方法	2024年 5月22日
特許 7487171	堆積用のデュアルガス供給シャワーヘッド	2024年 5月20日
特許 7487189	間隙充填のためのドープまたは非ドープシリコン炭化物および遠隔水素プラズマ曝露	2024年 5月20日
特許 7487360	ボトムリング	2024年 5月20日
特許 7485736	３ＤＮＡＮＤデバイス用の誘電体材料上におけるモリブデンを含有する低抵抗膜の成膜	2024年 5月16日
特許 7485817	プラズマ処理チャンバのための電極	2024年 5月16日
特許 7483795	調整可能／交換可能なエッジ結合リングのための検出システム	2024年 5月15日
特許 7483839	エアギャップの形成方法	2024年 5月15日
特許 7481845	基板処理システムのための温度調節された基板支持体	2024年 5月13日
特許 7479344	抵抗熱測定を介するシャワーヘッド加熱の制御	2024年 5月 8日

154 件中 91-105 件を表示

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7502545 7498323 7497420 7494209 7494291 7488815 7487171 7487189 7487360 7485736 7485817 7483795 7483839 7481845 7479344

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