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ラム　リサーチ　コーポレーション

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ラム　リサーチ　コーポレーションの商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特許 7592144	改善されたチャンバ整合のためのハイブリッド流量計測	2024年11月29日
特許 7591580	エッジリングの高度管理のための二重リフト機構を備える半導体処理チャンバ	2024年11月28日
特許 7589161	モリブデン含有皮膜の堆積のための前駆体	2024年11月25日
特許 7589179	金属含有レジストのリソグラフィ性能を向上させるためのベーキング方法	2024年11月25日
特許 7588078	基板の環境に敏感な表面のための犠牲保護層	2024年11月21日
特許 7583139	エッジリングの位置決めおよびセンタリング機構を組み込んだプラズマシース調整のための交換可能および／または折りたたみ式エッジリングアセンブリ	2024年11月13日
特許 7581213	金属膜の蒸着	2024年11月12日
特許 7579866	高電力、高圧プロセス用の分割されたガス分配プレート	2024年11月 8日
特許 7578627	選択的不動態化のために標的蒸着を用いてフィーチャをエッチングするための方法	2024年11月 6日
特許 7578756	複数の状態で反射電力を低減するようにチューニングするためのシステムおよび方法	2024年11月 6日
特許 7577670	複数のプレナムおよびガス分配室を有する堆積ツール用のシャワーヘッド	2024年11月 5日
特許 7577115	原子層エッチングおよびイオンビームエッチングのパターニング	2024年11月 1日
特許 7575953	有機材料上に金属酸化物膜を堆積するための堆積ツールおよび方法	2024年10月30日
特許 7576040	高エッチング選択性かつ低応力のアッシャブルカーボンハードマスク	2024年10月30日
特許 7576083	プラズマビューポート	2024年10月30日

154 件中 16-30 件を表示

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7592144 7591580 7589161 7589179 7588078 7583139 7581213 7579866 7578627 7578756 7577670 7577115 7575953 7576040 7576083

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