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ラム　リサーチ　コーポレーション

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ラム　リサーチ　コーポレーションの商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特許 7542001	ＲＦプラズマ・ツールにおける複数レベルのパルス化のためのシステム及び方法	2024年 8月29日
特許 7541983	金属原子層のエッチング堆積装置および金属フリー配位子による処理	2024年 8月29日
特許 7540043	マルチステーション型堆積システムにおける膜厚整合のための、サイクル及び時間が可変のＲＦ活性化方法	2024年 8月26日
特許 7539931	ＫＨＺＲＦ発生器の動作サイクル内でＭＨＺＲＦ発生器を調節するためのシステムおよび方法	2024年 8月26日
特許 7539912	半導体製造用途における摩擦攪拌接合	2024年 8月26日
特許 7539873	ベベルエッチャ用の下側プラズマ排除区域リング	2024年 8月26日
特許 7536451	トランス結合容量性同調切り替えを用いたトランス結合プラズマパルス化のためのシステムおよび方法	2024年 8月20日
特許 7535617	異方性パターンエッチングおよび処理のための方法および装置	2024年 8月16日
特許 7534292	Ｈｅ孔着火／アーク放電を防止する特徴を有する高出力静電チャック	2024年 8月14日
特許 7532598	高電力回路からの切り離しを伴わない静電容量測定	2024年 8月13日
特許 7530874	可動エッジリング設計	2024年 8月 8日
特許 7529741	ラジカルおよび前駆体ガスを下流チャンバに供給して遠隔プラズマ膜蒸着を可能にするための温度制御を備えた統合シャワーヘッド	2024年 8月 6日
特許 7527456	フォトレジストのドライ除去用プロセスツール	2024年 8月 2日
特許 7527361	基板処理システムの基板支持体の発熱体のための電源分離回路	2024年 8月 2日
特許 7526767	半導体デバイス製造における酸化スズ膜	2024年 8月 1日

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7542001 7541983 7540043 7539931 7539912 7539873 7536451 7535617 7534292 7532598 7530874 7529741 7527456 7527361 7526767

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