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ラム　リサーチ　コーポレーション

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ラム　リサーチ　コーポレーションの商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特許 7560492	可変インダクタ装置	2024年10月 2日
特許 7557569	照射フォトレジストパターニングのための統合乾式プロセス	2024年 9月27日
特許 7555842	半導体プロセスモジュールからｉｎ－ｓｉｔｕで消耗部品を取り出して交換するためのシステム	2024年 9月25日
特許 7555909	高アスペクト比パターニング及び縦方向スケーリングのための膜スタック簡素化	2024年 9月25日
特許 7553468	ガス送給用のモジュール式構成要素システム	2024年 9月18日
特許 7553489	フォトレジスト膜のチャンバ乾式洗浄	2024年 9月18日
特許 7553544	基板処理システム用の静電容量の変動が低減された可動エッジリング	2024年 9月18日
特許 7549097	交互のエッチングプロセスおよび不動態化プロセス	2024年 9月10日
特許 7547362	シャワーヘッド覆い	2024年 9月 9日
特許 7547378	基板処理システム用フィルタボックス	2024年 9月 9日
特許 7546483	遠隔プラズマ膜蒸着を可能にするためにラジカルおよび前駆体ガスを下流チャンバに供給するための改良された孔パターンを備える統合シャワーヘッド	2024年 9月 6日
特許 7546000	パターニングにおける反応性イオンエッチングのための重合保護層	2024年 9月 5日
特許 7544726	半導体処理における異常プラズマ事象の検出および軽減	2024年 9月 3日
特許 7542555	二重周波数、直接駆動誘導結合プラズマ源	2024年 8月30日
特許 7542630	伸長ＲＦストラップを有するインピーダンス整合器	2024年 8月30日

154 件中 46-60 件を表示

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7560492 7557569 7555842 7555909 7553468 7553489 7553544 7549097 7547362 7547378 7546483 7546000 7544726 7542555 7542630

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