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ラム リサーチ コーポレーション

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  2024年 特許取得件数ランキング    第216位 154件 上昇2023年:第292位 112件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7560492 可変インダクタ装置 2024年10月 2日
特許 7557569 照射フォトレジストパターニングのための統合乾式プロセス 2024年 9月27日
特許 7555842 半導体プロセスモジュールからin-situで消耗部品を取り出して交換するためのシステム 2024年 9月25日
特許 7555909 高アスペクト比パターニング及び縦方向スケーリングのための膜スタック簡素化 2024年 9月25日
特許 7553468 ガス送給用のモジュール式構成要素システム 2024年 9月18日
特許 7553489 フォトレジスト膜のチャンバ乾式洗浄 2024年 9月18日
特許 7553544 基板処理システム用の静電容量の変動が低減された可動エッジリング 2024年 9月18日
特許 7549097 交互のエッチングプロセスおよび不動態化プロセス 2024年 9月10日
特許 7547362 シャワーヘッド覆い 2024年 9月 9日
特許 7547378 基板処理システム用フィルタボックス 2024年 9月 9日
特許 7546483 遠隔プラズマ膜蒸着を可能にするためにラジカルおよび前駆体ガスを下流チャンバに供給するための改良された孔パターンを備える統合シャワーヘッド 2024年 9月 6日
特許 7546000 パターニングにおける反応性イオンエッチングのための重合保護層 2024年 9月 5日
特許 7544726 半導体処理における異常プラズマ事象の検出および軽減 2024年 9月 3日
特許 7542555 二重周波数、直接駆動誘導結合プラズマ源 2024年 8月30日
特許 7542630 伸長RFストラップを有するインピーダンス整合器 2024年 8月30日

154 件中 46-60 件を表示

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7560492 7557569 7555842 7555909 7553468 7553489 7553544 7549097 7547362 7547378 7546483 7546000 7544726 7542555 7542630

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