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ラム　リサーチ　コーポレーション

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ラム　リサーチ　コーポレーションの商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特許 7857345	径方向エッチング均一性の能動制御	2026年 5月12日
特許 7855530	半導体処理ツール用の角度付ガス分配通路を伴うシャワーヘッドフェースプレート	2026年 5月 8日
特許 7854393	基板処理ツール用の直線配置	2026年 5月 1日
特許 7854461	誘電体における高アスペクト比フィーチャのプラズマエッチング化学物質	2026年 5月 1日
特許 7854490	プラズマ処理副生成物を管理するための構成要素および処理	2026年 5月 1日
特許 7853923	インフィーチャウェットエッチ速度比低減	2026年 4月30日
特許 7853971	センサマッピングおよびトリガされるデータロギングを含む、健全性に基づいてモニタリング、評価、および応答するための基板処理システムツール	2026年 4月30日
特許 7854087	金属含有レジストのリソグラフィ性能を向上させるためのベーキング方法	2026年 4月30日
特許 7851939	前処理基板サンプルと後処理基板サンプルとの突合せ	2026年 4月27日
特許 7852072	金属含有フォトレジストのためのオールインワン乾式現像	2026年 4月27日
特許 7848380	同調回路における周波数ベースのインピーダンス調整	2026年 4月20日
特許 7847684	堆積及びウェハー滑りを防止するためのスピンドルアームのパージ	2026年 4月17日
特許 7846200	半導体ウエハ製造のためのマッチレスプラズマ源	2026年 4月14日
特許 7846265	高温プロセスのための軸方向に冷却される金属シャワーヘッド	2026年 4月14日
特許 7842759	低周波ＲＦ発生器および関連する静電チャック	2026年 4月 8日

139 件中 76-90 件を表示

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7857345 7855530 7854393 7854461 7854490 7853923 7853971 7854087 7851939 7852072 7848380 7847684 7846200 7846265 7842759

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