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ラム　リサーチ　コーポレーション

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ラム　リサーチ　コーポレーションの商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特許 7471478	小さい角発散でピークイオンエネルギ増強を達成するためのシステムおよび方法	2024年 4月19日
特許 7470101	寿命が延長された閉じ込めリング	2024年 4月17日
特許 7466686	基板処理システムにおける中間リング腐食補償	2024年 4月12日
特許 7461923	電子励起原子層エッチング	2024年 4月 4日
特許 7461965	プラズマ系反応器のための冷却	2024年 4月 4日
特許 7461333	高アスペクト比の誘電体エッチングを達成するための３つ以上の状態	2024年 4月 3日
特許 7460727	パターニング用途のための原子層エッチング、反応性前駆体、及びエネルギ源	2024年 4月 2日
特許 7457756	ウエハエッジにおける方位角方向の厚さの均一性を向上させるためのポケット内ウエハのセンタリング	2024年 3月28日
特許 7456951	基板処理システムにおける基板支持体の動的温度制御	2024年 3月27日
特許 7455182	静電気的にクランプされたエッジリング	2024年 3月25日
特許 7454504	基板処理中の基板温度の決定および制御	2024年 3月22日
特許 7454509	基板処理システムのモデルベースの制御	2024年 3月22日
特許 7454600	移動可能エッジリングおよびガス注入調節によるウエハ上ＣＤ均一性の制御	2024年 3月22日
特許 7453958	チャンバからＳｎＯ２膜を洗浄するための方法	2024年 3月21日
特許 7453149	セラミックベースプレートを備えるマルチプレート静電チャック	2024年 3月19日

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7471478 7470101 7466686 7461923 7461965 7461333 7460727 7457756 7456951 7455182 7454504 7454509 7454600 7453958 7453149

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