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ラム　リサーチ　コーポレーション

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ラム　リサーチ　コーポレーションの商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特許 7515647	半導体処理ツールにおけるＲＦ電流測定	2024年 7月12日
特許 7515661	半導体ＲＦプラズマ処理のためのパルス内のＲＦパルス	2024年 7月12日
特許 7514913	エッジリングポケットを洗浄するためのシステムおよび方法	2024年 7月11日
特許 7514245	急速交互プロセスにおいて均一性を向上させるためのマルチロケーションガス注入	2024年 7月10日
特許 7512279	多重ヒータアレイを備えた静電チャックのための長寿命かつ拡張温度範囲の埋め込みダイオード設計	2024年 7月 8日
特許 7511486	径方向エッチング均一性の能動制御	2024年 7月 5日
特許 7511570	エッチングリアクタ用のターボ分子ポンプおよびカソードアセンブリ	2024年 7月 5日
特許 7510436	基板処理システムのためのモデルベースのスケジュール設定	2024年 7月 3日
特許 7507146	高アスペクト比エッチングのための金属含有パシベーション	2024年 6月27日
特許 7507234	基板処理システムの処理チャンバの整合を改善するための流量計測較正	2024年 6月27日
特許 7506461	基板における粒子低減用のパルスレーザ蒸着及び基板表面を有する基板用の装置	2024年 6月26日
特許 7504977	リソグラフィにおける確率的な歩留まりへの影響の排除	2024年 6月24日
特許 7504240	基板を処理するための周波数同調と整合同調とを重複させずに適用するためのシステムおよび方法	2024年 6月21日
特許 7502545	照射フォトレジストパターニングのための統合乾式プロセス	2024年 6月18日
特許 7498323	冷却ガス区画および対応する溝ならびに単極静電クランプ電極パターンを備える静電チャック	2024年 6月11日

137 件中 61-75 件を表示

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7515647 7515661 7514913 7514245 7512279 7511486 7511570 7510436 7507146 7507234 7506461 7504977 7504240 7502545 7498323

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