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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 7509809 | 蒸発源ユニット、成膜装置及び成膜方法 | 2024年 7月 2日 | |
特許 7509810 | 成膜装置 | 2024年 7月 2日 | |
特許 7507182 | 搬送装置及び成膜装置 | 2024年 6月27日 | |
特許 7507183 | 蒸発源、成膜装置及び成膜方法 | 2024年 6月27日 | |
特許 7499571 | 成膜装置、電子デバイスの製造装置、成膜方法および電子デバイスの製造方法 | 2024年 6月14日 | |
特許 7498216 | 成膜装置及び成膜方法 | 2024年 6月11日 | |
特許 7495387 | スパッタ装置 | 2024年 6月 4日 | |
特許 7491870 | 計測装置、およびインライン型蒸着装置 | 2024年 5月28日 | |
特許 7489368 | アライメント装置 | 2024年 5月23日 | |
特許 7473520 | スパッタ装置 | 2024年 4月23日 | |
特許 7472095 | 動作設定装置、動作設定方法及び電子デバイスの製造方法 | 2024年 4月22日 | |
特許 7471074 | 成膜方法及び成膜装置 | 2024年 4月19日 | |
特許 7465761 | 坩堝,蒸発源及び蒸着装置 | 2024年 4月11日 | |
特許 7465859 | 基板キャリア、基板剥離装置、成膜装置、及び基板剥離方法 | 2024年 4月11日 | |
特許 7462690 | 成膜装置及び成膜方法 | 2024年 4月 5日 |
50 件中 16-30 件を表示
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7509809 7509810 7507182 7507183 7499571 7498216 7495387 7491870 7489368 7473520 7472095 7471074 7465761 7465859 7462690
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