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キヤノントッキ株式会社

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  2024年 特許取得件数ランキング    第528位 49件 下降2023年:第321位 99件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7509809 蒸発源ユニット、成膜装置及び成膜方法 2024年 7月 2日
特許 7509810 成膜装置 2024年 7月 2日
特許 7507182 搬送装置及び成膜装置 2024年 6月27日
特許 7507183 蒸発源、成膜装置及び成膜方法 2024年 6月27日
特許 7499571 成膜装置、電子デバイスの製造装置、成膜方法および電子デバイスの製造方法 2024年 6月14日
特許 7498216 成膜装置及び成膜方法 2024年 6月11日
特許 7495387 スパッタ装置 2024年 6月 4日
特許 7491870 計測装置、およびインライン型蒸着装置 2024年 5月28日
特許 7489368 アライメント装置 2024年 5月23日
特許 7473520 スパッタ装置 2024年 4月23日
特許 7472095 動作設定装置、動作設定方法及び電子デバイスの製造方法 2024年 4月22日
特許 7471074 成膜方法及び成膜装置 2024年 4月19日
特許 7465761 坩堝,蒸発源及び蒸着装置 2024年 4月11日
特許 7465859 基板キャリア、基板剥離装置、成膜装置、及び基板剥離方法 2024年 4月11日
特許 7462690 成膜装置及び成膜方法 2024年 4月 5日

50 件中 16-30 件を表示

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7509809 7509810 7507182 7507183 7499571 7498216 7495387 7491870 7489368 7473520 7472095 7471074 7465761 7465859 7462690

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